Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) – die Miniaturisierung mechanischer und elektromechanischer Bauelemente – gewinnen in vielen Branchen zunehmend an Bedeutung. Der Trend zu geringerer Größe und Gewicht bei gleichzeitig höherer Geschwindigkeit und Präzision ist entscheidend für die Entwicklung moderner Kommunikations-, Transport-, Gesundheits- und Verteidigungssysteme. Mit der fortschreitenden Skalierung der integrierten Schaltungstechnologie auf den Nanometerbereich entstehen zunehmend Nanoelektromechanische Systeme (NEMS).