Technologielösungen seit 1996
Bei Intlvac sind wir auf Ätz-, Verdampfungs-, Sputter- und PECVD-Prozesstechnologien spezialisiert – sie bilden das Fundament unserer Expertise.
Mit jahrzehntelanger Erfahrung in Dünnschichtbeschichtungs- und Ätztechnologien hat Intlvac Systeme für anspruchsvollste Prozesse perfektioniert – darunter E-Beam- und thermische Verdampfung, DC-Magnetron-Sputtern sowie plasmaunterstütztes reaktives Sputtern.
Finden Sie alle Komponenten für die Mark I- und Mark II-Ionenquellen in unserem Onlineshop – mit lagernden Teilen und Versand am nächsten Tag.
Intlvac ist der exklusive kanadische Distributor für Leybold-Vakuumprodukte und zertifizierten Service.i>
Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) – die Miniaturisierung mechanischer und elektromechanischer Bauelemente – gewinnen in vielen Branchen zunehmend an Bedeutung. Der Trend zu geringerer Größe und Gewicht bei gleichzeitig höherer Geschwindigkeit und Präzision ist entscheidend für die Entwicklung moderner Kommunikations-, Transport-, Gesundheits- und Verteidigungssysteme. Mit der fortschreitenden Skalierung der integrierten Schaltungstechnologie auf den Nanometerbereich entstehen zunehmend Nanoelektromechanische Systeme (NEMS).
Mikro- und nanoskalige HF-Schaltungskomponenten können mit bewährten CMOS- und Dünnschichttechnologien hergestellt werden.
Das Lift-Off-Verfahren erfordert extrem dünne, gleichmäßige und hochwertige Schichten, die auf vorstrukturierten Substraten abgeschieden werden.
Ein innovatives Verfahren, das den hohen Einfallswinkel sowie die ballistische Abschattung einströmender Teilchen nutzt, um selbstorganisierte Mikro- und Nanostrukturen zu erzeugen.
Durch präzise Steuerung der Substrattemperatur lassen sich gezielt bestimmte Korngrößen, Kristallstrukturen oder stöchiometrische Zustände von co-abgeschiedenen Materialien erzeugen.