Technologielösungen seit 1996
Bei Intlvac sind wir auf Ätz-, Verdampfungs-, Sputter- und PECVD-Prozesstechnologien spezialisiert – sie bilden das Fundament unserer Expertise.
Mit jahrzehntelanger Erfahrung in Dünnschichtbeschichtungs- und Ätztechnologien hat Intlvac Systeme für anspruchsvollste Prozesse perfektioniert – darunter E-Beam- und thermische Verdampfung, DC-Magnetron-Sputtern sowie plasmaunterstütztes reaktives Sputtern.
Finden Sie alle Komponenten für die Mark I- und Mark II-Ionenquellen in unserem Onlineshop – mit lagernden Teilen und Versand am nächsten Tag.
Intlvac ist der exklusive kanadische Distributor für Leybold-Vakuumprodukte und zertifizierten Service.i>
Das Intlvac Nanoquest Pico ist die ultimative kompakte Ion-Milling-Plattform für die Entwicklung und Forschung von Dünnschichtanwendungen wie Datenspeicher, Spintronik und Halbleiter. Mit Fokus auf Flexibilität kann das System – je nach Anwendung – für eine Vielzahl von Ionenquellen und Prozessgasen konfiguriert werden.
Mit einer 14"-D-förmigen Kammer und einem sehr kleinen Footprint ist das Nanoquest Pico so konzipiert, dass es sich problemlos in jede Laborumgebung integrieren lässt. Es ist ideal für das schnelle Ätzen von Dünnschichten, die nicht mit herkömmlichen nasschemischen oder trockenen Ätzverfahren kompatibel sind.
Das Nanoquest Pico ist für das Ätzen kleiner Wafer und Dies ausgelegt und damit besonders gut geeignet für schnelles, präzises Ätzen in F&E-Umgebungen. Das System unterstützt sowohl Ionenstrahl- als auch reaktives Ionenstrahlätzen und bietet mehrere Ionenquellen-Konfigurationen, um eine breite Palette von Materialien und Prozessanforderungen abzudecken.
Das Nanoquest Pico ist die ultimative kompakte Ion-Milling-Plattform für die Forschung und Entwicklung von Dünnschichtanwendungen wie Datenspeicher, Spintronik und Halbleiter. Es kann – je nach Anwendung – für eine Vielzahl von Ionenquellen und Gasen konfiguriert werden. Mit seiner 16"-D-förmigen Kammer und dem kleinen Footprint lässt es sich in jedes Laborumfeld integrieren.
Das Nanoquest Pico ist darauf ausgelegt, kleine Wafer und Dies zu ätzen und ist ideal für das schnelle Ätzen von Dünnschichten, die auf konventionelle nasschemische oder trockene Ätzprozesse nur schlecht ansprechen.