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Ionenstrahlätzen und -fräsen

  • Komplexe Mehrschichtstrukturen
  • Tiefe MEMS- und Photonik-Bauelemente
  • Reaktive Gasunterstützung (CAIBE/RIBE)
  • Geneigte Gitterstrukturen und Wellenleiter
  • Entschichten von IC-Chips
  • Kombinatorisches Flächen-Stufenätzen

Dünnschichtsysteme und kundenspezifische Beschichtungen

  • Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)
  • Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD)
  • Plasmaunterstütztes reaktives Magnetronsputtern (PARMS)

Weltraumsimulation

  • Standard- und kundenspezifische thermische Vakuumkammern (TVAC)
  • Vakuum-Entgasungslösungen

Wasserstofftechnologie

  • Kosteneffiziente, langlebige und leitfähige Metallbeschichtungen für poröse Transportschichten und Bipolarplatten

Aktuelles

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Anwendungen

Intlvac bietet Dünnschicht-Prozesslösungen für zahlreiche Anwendungen, darunter Präzisionsoptik, Filter, Leistungsbauelemente und Telekommunikation.

  • Präzisionsoptik
  • Elektronik
  • Luft- und Raumfahrt
  • Metallisierung
  • MEMS und NEMS
  • Ionenstrahlätzen und -fräsen
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Intlvac Systeme

Bei Intlvac Thin Film entwickeln, konstruieren und fertigen wir eine breite Palette maßgeschneiderter und standardisierter Systeme für Dünnschicht-PVD, Ätzverfahren und PECVD.

  • Nanochrome Dünnschichtabscheidung
  • Nanoquest Ionenstrahlätzen
  • Nanoquest Ionenstrahl-Sputterabscheidung
  • Icarus Indiumabscheidung
  • Electra UV-Sputtern
  • Aegis diamantähnlicher Kohlenstoff (DLC)
  • Midas Faser-Metallisierung
  • TVAC Weltraumsimulation
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Intlvac Dünnschicht-Beschichtungsdienstleistungen

ahrzehntelange Erfahrung in der Entwicklung und Herstellung von Dünnschicht-Beschichtungs- und Ätzanlagen hat es Intlvac ermöglicht, eigene Systeme für zahlreiche Prozesse zu entwickeln. Dazu gehören Verfahren wie Elektronenstrahl- und thermische Verdampfung, DC-Magnetronsputtern sowie plasmaunterstütztes reaktives Sputtern.

Gold- und Platinbeschichtungen

Intlvac Thin Film zählt zu den weltweit führenden Unternehmen im Bereich der Dünnschichtabscheidung von Edelmetallen. Erfahren Sie mehr über die zentrale Rolle, die Edelmetalle in modernen Anwendungen spielen

AR-Beschichtungen

Intlvac bietet Antireflexbeschichtungen für eine Vielzahl von Substraten und Anwendungen in den Spektralbereichen VIS, NIR, SWIR und MWIR. Alle Beschichtungen sind nicht radioaktiv.

Optische Filter

Maßgeschneiderte optische Filter sind verfügbar für Anwendungen wie Bandpassfilter, Langpassfilter (LWP), Kurzpassfilter (SWP), Neutraldichtefilter und weitere Anwendungen.