Aegis Diamond Like Carbon

Das Intlvac Aegis Diamond-Like Carbon (DLC) PECVD-System ist eine hochmoderne Beschichtungsanlage, die entwickelt wurde, um Ihre Beschichtungsprozesse zu revolutionieren. Unter Verwendung der plasmaaktivierten, nieder­temperierten Chemischen Gasphasenabscheidung (PECVD) ist unser System auf Effizienz, Konsistenz und Langlebigkeit ausgelegt. Das innovative Design ermöglicht es, mehrere Beschichtungsprozesse nacheinander mit minimalem Wartungsaufwand durchzuführen und so den Durchsatz zu maximieren. Darüber hinaus ist das System mit voreingestellten Prozessrezepten für infrarote Antireflex-Beschichtungen auf Silizium- und Germaniumoptiken ausgestattet – eine sofort einsatzbereite Lösung für Hochleistungsanwendungen.

Jahrzehntelange Forschung und Entwicklung machen uns einzigartig

Beschichtungsfähigkeiten

  • Erzeugt glatte DLC-Hartmasken mit geringer Rauheit (2,5 Å)
  • Für mechanische, optische und chemische Anwendungen
  • Erfüllt MIL-Spec-Anforderungen für Infrarotoptiken und tribologische Beschichtungen
  • DLC-Schichtdicken: bis zu mehreren Mikrometern

Substratkompatibilität

  • Unterstützt eine Vielzahl von Materialien:
  • Saphir, Metalle, TFLN, LNOI-Wafer, Kunststoffe
  • Si, Ge, II-VI-Verbindungen, optische Gläser, Chalkogenide
  • Plasma-Isolation ermöglicht die Beschichtung temperatursensitiver Substrate

Systemleistung

  • Kompaktes Design mit innovativer Energie- und Gasverteilung
  • Gewährleistet hervorragende Gleichmäßigkeit und Reproduzierbarkeit über eine Fläche von 500 mm Durchmesser
  • Vorgefertigte Prozessrezepte enthalten (Aegis LNF)

Ätzselektivität

  • Zeigt eine DLC:LN-Selektivität von 4:1 oder besser
  • Validiert mit dem Intlvac Nanoquest II (Lithiumniobat-Foundry Modul 3) Ätzsystem

Hydrophob

Dank unpolarer C–H-Bindungen und einer gleichmäßig glatten Struktur stoßen unsere DLC-Beschichtungen Feuchtigkeit ab, schützen Komponenten vor Wasserschäden und verringern den Wartungsaufwand.

Fehlerfrei

Bietet robusten Schutz selbst bei ultradünnen Schichten bis zu 1 nm. Dies verlängert die Lebensdauer des Substrats und verbessert die Zuverlässigkeit der Gesamtleistung.


Abriebfest

Unsere DLC-Beschichtungen behalten tribologische Eigenschaften bei, die denen von kristallinem Diamant sehr ähnlich sind – mit 95 % Atomdichte, 75 % Härte und 66 % Elastizitätsmodul im Vergleich zu Diamant.

Außergewöhnliche Gleichmäßigkeit – ganz ohne Rotation

Das Aegis-System erzeugt gleichmäßig dichte Schichten mit einer Dicke von bis zu mehreren Mikrometern auf einer Vielzahl von Substraten, darunter Silizium (Si), Germanium (Ge), Saphir, optische Gläser, Metalle, Kunststoffe und II-VI-Verbindungen. Diese fortschrittliche Fähigkeit reduziert Materialverluste und minimiert die Vakuumprozesszeiten, was letztlich zu geringeren Kosten führt.

Abbildung 1: Ultrapräzise Gleichmäßigkeit über das gesamte Substrat hinweg – erreicht ohne Rotationsmechanismen und mit gleichbleibend hoher Schichtqualität vom Zentrum bis zum Rand.


Umwelt- und Haltbarkeitstest-Standards

Alle Beschichtungen werden nach strengen ISO-, MIL- und TS-Standards qualifiziert, um eine langfristige Leistung, Haftung und Zuverlässigkeit unter anspruchsvollen Umweltbedingungen sicherzustellen. Die Prüfungen umfassen mechanische Haltbarkeit, optische Stabilität und Umweltbeständigkeit, um die branchen- und militärischen Spezifikationen zu erfüllen oder zu übertreffen.


  • Abrieb: ISO 9211-4-01-04 (Starker Abrieb) / Mäßiger Abrieb
  • Sand-Schlamm-(Wischer)-Test: TS1888
  • Haftung: ISO 9211-4-02-03 (Schnapp-Test), MIL-C-48497A, MIL-C-675C
  • Kontamination: ISO 9022-87-01-1
  • Feuchte Wärme (zyklisch): ISO 9022-16-05-1
  • Luftfeuchtigkeit: gemäß MIL- und ISO-Spezifikationen
  • Langsame Temperaturänderung: ISO 9022-15-06-1
  • Temperaturschock: ISO 9022-15-03-1
  • Salznebel / Salzlöslichkeit: ISO 9022-40-06-1
  • Wasserlöslichkeit: ISO 9211-4-04-05
  • Schimmelbildung: ISO 9022-85-01-1
  • Eisbeständigkeit: ISO 9022-77-01-1
  • Sonnenstrahlung: ISO 9022-20-03-1
Schritt in die Zukunft der Photonik

Intlvacs Lithiumniobat-Foundry

Verfügbar als Cluster-Tool, Einzelmodule oder In-House-On-Demand-Service.

Nanoquest II IBE

Hochaspektverhältnis-Ätzen

Nanoquest II ist ein präzises Ionenstrahl-Ätzsystem, das für fortgeschrittene F&E in der Herstellung photonischer Bauelemente entwickelt wurde. Mit einer Breitstrahl-Ionenquelle und anpassbarer Substratbewegung ermöglicht es einen glatten, gleichmäßigen Materialabtrag auf LiNbO₃ und anderen anspruchsvollen Materialien. Die einstellbare Energiekontrolle, In-situ-Kühlung und flexiblen Maskierungsoptionen gewährleisten eine herausragende Ätzqualität und machen das System ideal für die Fertigung der nächsten Generation von Lithium-Niobat-Komponenten.

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Nanochrome IV PARMS

Präzise Oxid- und Nitridschichten

Nanochrome™ IV nutzt Plasma Assisted Reactive Magnetron Sputtering (PARMS), um dichte, gleichmäßige Oxid- und Nitridfilme abzuscheiden, die für die Herstellung von Lithium-Niobat-Bauelementen essenziell sind. Diese Schichten ermöglichen präzises Masking, Passivierung und optisches Tuning, während sie makellose Materialgrenzflächen erhalten. Integriert in die Intlvac-Clusterumgebung sorgt Nanochrome™ IV für saubere, reproduzierbare Prozesse in leistungsstarken photonischen und quantenbasierten Anwendungen.

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Aegis DLC

Hartkohlenstoff-Ätzmaske

Das Aegis DLC-System ermöglicht präzises Ätzen für die Herstellung von LNOI-Wellenleitern mittels plasmaunterstützter chemischer Gasphasenabscheidung (PECVD) einer diamantähnlichen Kohlenstoff-Hartmaske. Dank ihrer hohen Härte, Haftung und Selektivität gewährleistet sie eine exakte Musterübertragung während des Ionenstrahlätzens und erzeugt glatte, hochpräzise Lithiumniobat-Strukturen – ein wesentlicher Bestandteil moderner photonischer und quantentechnologischer Bauelemente.

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Aegis DLC

Lithium-Niobat-Foundry

Das Aegis DLC-System stellt eine entscheidende Funktionsschicht für präzises Ätzen bei der Herstellung von LNOI (Lithium Niobate on Insulator)-Wellenleitern dar. Durch plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) wird eine dünne diamantähnliche Kohlenstoffschicht (DLC) aus Kohlenwasserstoff-Vorstufen abgeschieden, um eine Hartmaske mit außergewöhnlicher Härte, Haftung und Ätzselektivität zu bilden.

Nach der Abscheidung wird die DLC-Schicht mittels Sauerstoffplasma strukturiert, um feine Strukturen mit hoher Auflösung zu definieren. Anschließend werden diese Muster durch Argon-Ionenstrahlätzen (IBE) in das darunterliegende Lithiumniobat-Substrat übertragen – mit Nanometerpräzision und glatten, vertikalen Seitenwänden. Eine abschließende Reinigung entfernt die DLC-Maske und legt fein strukturierte LNOI-Wellenleiter mit herausragender optischer Leistung frei.

Durch die Kombination mechanischer Robustheit mit präziser Prozesskontrolle gewährleistet das Aegis DLC-Modul eine reproduzierbare, hochpräzise Musterübertragung – ein unverzichtbarer Schritt bei der Herstellung zuverlässiger und skalierbarer photonischer Bauelemente für fortschrittliche Kommunikations- und Quantentechnologien.

Nanoquest II

Lithium-Niobat-Foundry

Das Nanoquest II nutzt eine Breitstrahl-Ionenquelle in Kombination mit einer vollständig einstellbaren Substratbewegung, um einen präzisen, rein physikalischen Materialabtrag durch Impulsübertragung von inerten Ionen wie Argon zu erzielen. Dieser Prozess elimininiert die chemische Abhängigkeit klassischer Plasmaätzverfahren und ermöglicht eine außergewöhnliche Kontrolle über Geometrie, Gleichmäßigkeit und Oberflächenqualität.

Mit seiner materialunabhängigen Ionenstrahl-Ätzfähigkeit kann das Nanoquest II selbst die chemisch inertesten Materialien bearbeiten, darunter LiNbO₃, SiO₂ und Saphir. Einstellbare Einfallswinkel des Ionenstrahls und Substratrotation erzeugen glatte, vertikale Seitenwände ohne Redepositionsartefakte, während tunable Ionenenergie und In-situ-Kühlung die optische Integrität bewahren, indem Schäden und Kontaminationen auf ein Minimum reduziert werden.

Der kollimierte Ionenstrahl des Systems sorgt für konstante Ätzraten über Wafer bis 200 mm und die Kompatibilität mit einer Vielzahl von Maskenmaterialien – einschließlich Metallen und mehrlagigen Dielektrika – erhöht die Prozessflexibilität. Optionale Tilt-Ätzzyklen und Strahlneutralisation sichern eine optische Oberflächenqualität, wodurch das Nanoquest II zum zentralen Werkzeug für die fortschrittliche photonische Fertigung in Lithium-Niobat und anderen anspruchsvollen Substraten wird.

Nanochrome IV PARMS

Lithium-Niobat-Foundry

Das Nanochrome™ IV nutzt Plasma Assisted Reactive Magnetron Sputtering (PARMS), um hochgradig gleichmäßige Oxid- und Nitrid-Dünnschichten abzuscheiden, die in allen Phasen der LiNbO₃-Bauteilfertigung unverzichtbar sind. Diese Präzisionsbeschichtungen liefern die strukturellen, optischen und schützenden Schichten, die für hochleistungsfähige photonische Bauelemente erforderlich sind.

Durch PARMS werden Materialien wie SiO₂, Si₃N₄ und Al₂O₃ als dichte, konforme Schichten abgeschieden, die sich ideal für Maskierung, Passivierung und optische Schichtgestaltung eignen. Während des High-Aspect-Ratio-Ätzens im Nanoquest II dienen diese robusten Beschichtungen als widerstandsfähige Hartmasken, die die Strukturtreue bewahren und Oberflächen unter anspruchsvollen Plasma- und Ionenstrahlbedingungen schützen. Nach der Nanostrukturierung fungieren dieselben dielektrischen Schichten als Tuning- oder Passivierungslagen, verbessern die optische Führung und steigern die Zuverlässigkeit der Bauelemente.

Nahtlos in die Cluster-Umgebung von Intlvac integriert, ermöglicht der PARMS-Prozess einen durchgängigen, kontaminationsfreien Workflow – von der Abscheidung über das Ätzen bis hin zum Lift-Off. Diese Closed-System-Integration gewährleistet hohe Reproduzierbarkeit und makellose Grenzflächen und versetzt Forschende wie auch Hersteller in die Lage, die Grenzen der Quantenphotonik, der Hochgeschwindigkeitskommunikation und integrierter optischer Systeme weiter voranzutreiben.

DLC-Dienstleistungen im eigenen Haus

Wenn Sie Beschichtungen auf Abruf benötigen, liefert das Aegis DLC-System genau das. Gestützt auf jahrzehntelange Forschung haben wir eine Reihe firmeneigener DLC-Systeme entwickelt, die ein branchenführendes Beschichtungslabor antreiben – betreut von einem engagierten Team aus Technikern und F&E-Spezialisten. Unsere proprietären DLC-Rezepte sind auf Ihre individuellen Anwendungen zugeschnitten – egal, ob Sie mit komplexen Geometrien, anspruchsvollen Substraten oder Serienproduktionen arbeiten. Mit Aegis erhalten Sie Präzision, Leistung und Geschwindigkeit – genau dann, wenn Sie sie brauchen.

Individuelle Lösungen

Arbeiten Sie mit unseren F&E-Spezialisten zusammen, um die ideale DLC-Beschichtung für Ihre Anforderungen zu entwickeln. Von der Konzeptphase bis zur Fertigstellung arbeitet unser Team eng mit Ihnen zusammen, um Leistung, Haftung und Langlebigkeit zu optimieren.

Vertrauenswürdige Beratung

Wir sind nicht nur Anwender – wir sind Entwickler, Innovatoren und Wegbereiter in der Dünnschichtindustrie. Unser F&E-Team erweitert ständig die Grenzen des Machbaren, und mit dem Aegis-System ist kein Projekt zu anspruchsvoll.

Sprechen Sie noch heute mit unseren Experten: thinfilm@intlvac.com

Dünnschichtbeschichtungen für Präzisionsoptiken

Entdecken Sie unsere neuesten Dünnschichtbeschichtungslösungen für den IR-Bereich

  • Umfangreiches IP-Portfolio
  • Kooperatives Design
  • In-House-Messtechniklabor
  • Lebenslanger Support


Intlvac bietet eine umfassende Auswahl an Dünnschichtabscheidungssystemen und -dienstleistungen, die speziell auf das Infrarotspektrum abgestimmt sind – einschließlich Verdampfung, Sputtern und plasmaunterstützter chemischer Gasphasenabscheidung (PECVD). Wir liefern Breitband-Antireflexbeschichtungen im Bereich von 3–5 μm und 8–12 μm, geeignet für Silizium-, Germanium- und Chalkogenidoptiken. Diamantbeschichtungen dienen als ideale Schutzschicht für diese weichen Materialien und sind dank ihres hohen Brechungsindex auch perfekt als einzelne Dünnschicht für Antireflexanwendungen geeignet.

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