Nanochrome IV UV VIS

Das Intlvac Nanochrome™ IV UV VIS Ion-Assistierte Abscheidungssystem ist die neueste Innovation in der Präzisions-Optikbeschichtungstechnologie. Entwickelt für außergewöhnliche Leistungsfähigkeit, ermöglicht das Nanochrome™ IV UV VIS die Herstellung komplexer optischer Filter durch Elektronenstrahlverdampfung mit Ionenunterstützung unter optischer Kontrolle. Dies erlaubt sowohl eine Echtzeit-Reoptimierung als auch den Betrieb über standardisierte Abscheidungssteuerungen.

Das Nanochrome™ IV UV VIS-System fertigt komplexe optische Filter mittels Elektronenstrahlverdampfung mit Ionenassistenz unter optischer Steuerung, wodurch Echtzeit-Reoptimierung oder Standardprozesssteuerung möglich ist.

Nanochrome IV UV VIS

Das Intlvac Nanochrome™ IV UV VIS Ion-Assistierte Abscheidungssystem ist die neueste Innovation in der Präzisions-Optikbeschichtungstechnologie. Entwickelt für außergewöhnliche Leistungsfähigkeit, ermöglicht das Nanochrome™ IV UV VIS die Herstellung komplexer optischer Filter durch Elektronenstrahlverdampfung mit Ionenunterstützung unter optischer Kontrolle. Dies erlaubt sowohl eine Echtzeit-Reoptimierung als auch den Betrieb über standardisierte Abscheidungssteuerungen.

Das Nanochrome™ IV UV VIS-System fertigt komplexe optische Filter mittels Elektronenstrahlverdampfung mit Ionenassistenz unter optischer Steuerung, wodurch Echtzeit-Reoptimierung oder Standardprozesssteuerung möglich ist.

 Weltneuheit 

Erstes System mit intelligenter Kryopumpentechnologie

Das Nanochrome™ IV UV VIS ist die erste Produktionsplattform, die mit der neuesten Generation der CTI-Kryopumpe mit variabler Drehzahl ausgestattet ist und damit unübertroffene Leistung und Effizienz bietet.

Weltneuheit

Erstes System mit intelligenter Kryopumpentechnologie

Das Nanochrome™ IV UV VIS ist die erste Produktionsplattform, die mit der neuesten Generation der CTI-Kryopumpe mit variabler Drehzahl ausgestattet ist und damit unübertroffene Leistung und Effizienz bietet.

Doppelachsenrotation für maximale Effizienz

Ausgestattet mit einer planetenförmigen Bühne mit Doppelachsenrotation und fünf 12-Zoll-Substratträgern erreicht das System eine beeindruckende Grundgleichmäßigkeit von nur 2 %. Jeder Planetenträger kann entweder ein 12-Zoll-Substrat oder mehrere kleinere Substrate aufnehmen und maximiert so die Beschichtungskapazität pro Zyklus.

Wesentliche Vorteile

  • Hervorragende Prozesswiederholbarkeit
  • Grundgleichmäßigkeit von 2 %
  • Vollautomatische Prozesssteuerung
  • Echtzeit-Reoptimierung der Schichten
  • Doppelachsenrotation mit fünf 12-Zoll-Substratträgern

Das Nanochrome™ IV UV VIS setzt einen neuen Standard für Präzisions-Optikbeschichtungssysteme, indem es modernste Technologie mit benutzerfreundlichen Funktionen kombiniert – für überragende Ergebnisse in jeder Anwendung.

Fortschrittliche Optische Überwachung

Das Nanochrome™ IV UV VIS nutzt ein breitbandiges optisches Überwachungssystem zur Echtzeit-Reoptimierung der Schichten. Dieses System automatisiert die Prozesssteuerung sowohl im Reflexions- als auch im Transmissionsmodus. Die Intlvac Nanocon-Benutzeroberfläche ermöglicht eine nahtlose digitale Steuerung, Ein-Knopf-Automatisierung und die Echtzeit-Protokollierung kritischer Parameter. Mit modernsten Abscheidungswerkzeugen gewährleistet das System eine präzise Prozessführung und Temperaturkontrolle bis zu 275 °C, was eine unübertroffene Konsistenz und Leistungsfähigkeit ermöglicht.

Bedienerfreundliches Design

Mit dem Fokus auf Benutzerfreundlichkeit wurde das Nanochrome™ IV UV VIS mit drei federbelasteten Shutter-Sichtfenstern ausgestattet, die eine direkte Beobachtung der Verdampfungsquelle, der Hochstrom-Ionenquelle und der Probenbühne ermöglichen. Zusätzlich erlaubt ein drehbarer Polarisator-Sichtport mit Periskopaufsatz eine sichere Beobachtung der Abscheidungsquelle während des Betriebs. Das System unterstützt außerdem eine Echtzeit-Spektralüberwachung mit einem einstellbaren Bereich von 400 bis 1500 Nanometern.

UV-VIS-Optische Filterproduktionsanlage

Entdecken Sie die neueste Nanochrome™ IV UV VIS Broschüre

  • Hervorragende Prozesswiederholbarkeit
  • Grundgleichmäßigkeit von 2 %
  • Fünf 12-Zoll-Planeten mit Doppelachsenrotation
  • Bedienerfreundlich

Das Nanochrome™ IV UV VIS Ion-Assistierte Abscheidungssystem ermöglicht die Herstellung komplexer optischer Filter durch Elektronenstrahlverdampfung mit Ionenunterstützung unter optischer Steuerung – wahlweise mit Echtzeit-Optimierung oder über standardisierte Abscheidungssteuerungen.

Das breitbandige optische Überwachungssystem sorgt für automatisierte Prozesssteuerung im Reflexions- oder Transmissionsmodus.

Modernste Abscheidungskomponenten bieten eine beispiellose Kontrolle über laufende Prozesse sowie eine Temperaturregelung bis zu 275 °C.

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