Technologielösungen seit 1996
Bei Intlvac sind wir auf Ätz-, Verdampfungs-, Sputter- und PECVD-Prozesstechnologien spezialisiert – sie bilden das Fundament unserer Expertise.
Mit jahrzehntelanger Erfahrung in Dünnschichtbeschichtungs- und Ätztechnologien hat Intlvac Systeme für anspruchsvollste Prozesse perfektioniert – darunter E-Beam- und thermische Verdampfung, DC-Magnetron-Sputtern sowie plasmaunterstütztes reaktives Sputtern.
Finden Sie alle Komponenten für die Mark I- und Mark II-Ionenquellen in unserem Onlineshop – mit lagernden Teilen und Versand am nächsten Tag.
Intlvac ist der exklusive kanadische Distributor für Leybold-Vakuumprodukte und zertifizierten Service.i>
Das Intlvac Nanochrome™ IV UV VIS Ion-Assistierte Abscheidungssystem ist die neueste Innovation in der Präzisions-Optikbeschichtungstechnologie. Entwickelt für außergewöhnliche Leistungsfähigkeit, ermöglicht das Nanochrome™ IV UV VIS die Herstellung komplexer optischer Filter durch Elektronenstrahlverdampfung mit Ionenunterstützung unter optischer Kontrolle. Dies erlaubt sowohl eine Echtzeit-Reoptimierung als auch den Betrieb über standardisierte Abscheidungssteuerungen.
Das Nanochrome™ IV UV VIS-System fertigt komplexe optische Filter mittels Elektronenstrahlverdampfung mit Ionenassistenz unter optischer Steuerung, wodurch Echtzeit-Reoptimierung oder Standardprozesssteuerung möglich ist.
Das Nanochrome™ IV UV VIS ist die erste Produktionsplattform, die mit der neuesten Generation der CTI-Kryopumpe mit variabler Drehzahl ausgestattet ist und damit unübertroffene Leistung und Effizienz bietet.
Ausgestattet mit einer planetenförmigen Bühne mit Doppelachsenrotation und fünf 12-Zoll-Substratträgern erreicht das System eine beeindruckende Grundgleichmäßigkeit von nur 2 %. Jeder Planetenträger kann entweder ein 12-Zoll-Substrat oder mehrere kleinere Substrate aufnehmen und maximiert so die Beschichtungskapazität pro Zyklus.
Das Nanochrome™ IV UV VIS setzt einen neuen Standard für Präzisions-Optikbeschichtungssysteme, indem es modernste Technologie mit benutzerfreundlichen Funktionen kombiniert – für überragende Ergebnisse in jeder Anwendung.
Mit dem Fokus auf Benutzerfreundlichkeit wurde das Nanochrome™ IV UV VIS mit drei federbelasteten Shutter-Sichtfenstern ausgestattet, die eine direkte Beobachtung der Verdampfungsquelle, der Hochstrom-Ionenquelle und der Probenbühne ermöglichen. Zusätzlich erlaubt ein drehbarer Polarisator-Sichtport mit Periskopaufsatz eine sichere Beobachtung der Abscheidungsquelle während des Betriebs. Das System unterstützt außerdem eine Echtzeit-Spektralüberwachung mit einem einstellbaren Bereich von 400 bis 1500 Nanometern.
Das Nanochrome™ IV UV VIS Ion-Assistierte Abscheidungssystem ermöglicht die Herstellung komplexer optischer Filter durch Elektronenstrahlverdampfung mit Ionenunterstützung unter optischer Steuerung – wahlweise mit Echtzeit-Optimierung oder über standardisierte Abscheidungssteuerungen.
Das breitbandige optische Überwachungssystem sorgt für automatisierte Prozesssteuerung im Reflexions- oder Transmissionsmodus.
Modernste Abscheidungskomponenten bieten eine beispiellose Kontrolle über laufende Prozesse sowie eine Temperaturregelung bis zu 275 °C.