Nanoquest I IBSD Combo
Kompaktes System für Abscheidung & Ätzen
Das Nanoquest I IBSD Combo ist für Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 100 mm ausgelegt. Dieses kompakte Werkzeug vereint erstklassige PVD-Beschichtungstechnologie mit vollständiger Ionenstrahl-Ätzfähigkeit – und bringt damit Premium-Dünnschichtprozesse in jedes Labor.
Die Technologie ermöglicht das Sputtern von Metallen und Dielektrika bei niedrigem Druck, ganz ohne stromversorgte Kathoden. Das System ist mit einem Mehrziel-Karussell ausgestattet sowie mit einer wassergekühlten, rotierenden und winkelverstellbaren Substratbühne. Darüber hinaus integriert es die volle Ionenstrahl-Ätzfunktionalität.
Das Ergebnis: Während das System die bekannten, hochwertigen IBSD-Beschichtungen liefert, kann es gleichzeitig Filme planarisieren und strukturierte Wafer präzise ätzen – alles in einem kompakten Gerät.
Broschüre