Technologielösungen seit 1996
Bei Intlvac sind wir auf Ätz-, Verdampfungs-, Sputter- und PECVD-Prozesstechnologien spezialisiert – sie bilden das Fundament unserer Expertise.
Mit jahrzehntelanger Erfahrung in Dünnschichtbeschichtungs- und Ätztechnologien hat Intlvac Systeme für anspruchsvollste Prozesse perfektioniert – darunter E-Beam- und thermische Verdampfung, DC-Magnetron-Sputtern sowie plasmaunterstütztes reaktives Sputtern.
Finden Sie alle Komponenten für die Mark I- und Mark II-Ionenquellen in unserem Onlineshop – mit lagernden Teilen und Versand am nächsten Tag.
Intlvac ist der exklusive kanadische Distributor für Leybold-Vakuumprodukte und zertifizierten Service.i>
Das Nanoquest I IBSD Combo ist für Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 100 mm ausgelegt. Dieses kompakte Werkzeug vereint erstklassige PVD-Beschichtungstechnologie mit vollständiger Ionenstrahl-Ätzfähigkeit – und bringt damit Premium-Dünnschichtprozesse in jedes Labor.
Die Technologie ermöglicht das Sputtern von Metallen und Dielektrika bei niedrigem Druck, ganz ohne stromversorgte Kathoden. Das System ist mit einem Mehrziel-Karussell ausgestattet sowie mit einer wassergekühlten, rotierenden und winkelverstellbaren Substratbühne. Darüber hinaus integriert es die volle Ionenstrahl-Ätzfunktionalität.
Das Ergebnis: Während das System die bekannten, hochwertigen IBSD-Beschichtungen liefert, kann es gleichzeitig Filme planarisieren und strukturierte Wafer präzise ätzen – alles in einem kompakten Gerät.