Technologielösungen seit 1996
Bei Intlvac sind wir auf Ätz-, Verdampfungs-, Sputter- und PECVD-Prozesstechnologien spezialisiert – sie bilden das Fundament unserer Expertise.
Mit jahrzehntelanger Erfahrung in Dünnschichtbeschichtungs- und Ätztechnologien hat Intlvac Systeme für anspruchsvollste Prozesse perfektioniert – darunter E-Beam- und thermische Verdampfung, DC-Magnetron-Sputtern sowie plasmaunterstütztes reaktives Sputtern.
Finden Sie alle Komponenten für die Mark I- und Mark II-Ionenquellen in unserem Onlineshop – mit lagernden Teilen und Versand am nächsten Tag.
Intlvac ist der exklusive kanadische Distributor für Leybold-Vakuumprodukte und zertifizierten Service.i>
Das Intlvac Ares TVAC3 wurde entwickelt, um Komponenten unter Hochvakuumbedingungen thermischen Zyklen zu unterziehen. Das System basiert auf einem horizontalen Zylinder mit Zugangstüren an beiden Enden. Für maximale Flexibilität verfügt es über eine große Auswahl an Instrumentenanschlüssen, die auf die Anforderungen der Anwender zugeschnitten sind.
Das Hochvakuum wird ölfrei durch eine Kombination mehrerer Pumpen erreicht. Die Temperierung des Kammermantels und des Probenträgers erfolgt über verschiedene Methoden, wobei die Wärmeübertragung zu den Kundenbauteilen über „Black-Body“-Strahlung erfolgt. Die internen Shrouds sind temperaturgeregelt und innen mit einer flachen, luft- und raumfahrttauglichen schwarzen Beschichtung versehen.
Die Steuerung erfolgt über den Intlvac Autosys PLC-Controller, der in einem separaten Schaltschrank untergebracht ist. Dieser übernimmt das automatische Evakuieren und Belüften, die Temperaturregelung, die Wiederherstellung nach Stromausfällen sowie Sicherheitsverriegelungen für den sicheren Betrieb.
Die Benutzeroberfläche wird über eine LabVIEW-Arbeitsstation mit 19"-Flachbildmonitor bereitgestellt. Alle Prozessparameter werden kontinuierlich aufgezeichnet und können sowohl im integrierten grafischen Log-Viewer als auch offline in Tabellenform ausgewertet werden.