Spezifikationen
Das Innen- und Außengehäuse der Kammer ist mechanisch bearbeitet und elektropoliert, um die Oberfläche zu minimieren, die Abpumpzeiten zu verkürzen und Wasserdampf-Hintergründe zu reduzieren. Ausgestattet mit drei Pyrex-Sichtfenstern, von denen zwei mit Schutzgläsern versehen sind, bleibt das Abscheidungsmaterial von diesen Fenstern abgeschirmt. Das Sichtfenster gegenüber der Elektronenstrahlkanone verfügt über ein integriertes Periskop und Polarisations-Attenuator-Baugruppen, die eine Echtzeitüberwachung während der Abscheidung ermöglichen.
Auf der Oberseite der Kammer befinden sich mehrere Durchführungsanschlüsse, darunter eine 2,0-Zoll-Hohlwellen-Ferrofluid-Rotationsdurchführung mit integriertem optischem Fenster. Zusätzliche Reserveanschlüsse an der Seite und am Boden bieten maximale Flexibilität für zukünftige Anwendungen und Systemerweiterungen.
Das System ist auf herausragende Leistung ausgelegt und ideal für fortschrittliche Verfahren wie Long-Throw-Reaktivsputtern, Elektronenstrahlverdampfung und thermische Verdampfung. Es ermöglicht die präzise und zuverlässige Herstellung hochwertiger Dünnschichten – mit der Genauigkeit und Wiederholbarkeit, die moderne Forschung und Fertigung erfordern.