自 1996 年以来一直提供技术解决方案
在 Intlvac，我们专注于刻蚀、蒸发、溅射以及等离子体增强化学气相沉积 (PECVD) 工艺技术，这些领域构成了我们的核心专长。
凭借在薄膜镀膜与刻蚀设备领域数十年的专业经验，Intlvac 已将多种先进工艺臻于成熟——包括电子束与热蒸发、直流磁控溅射以及等离子体辅助反应溅射。
在我们的在线商城中，您可以找到 Mark I 和 Mark II 离子源的所有组件。现货供应，次日发货。
Intlvac 是 Leybold 真空产品及认证服务在加拿大的独家分销商
Intlvac Nanoquest Pico 是一款专为薄膜应用研发而打造的终极紧凑型离子铣削平台，非常适用于数据存储、自旋电子学 和半导体等领域的研究与开发。系统以高度灵活性为设计核心，可根据具体应用配置不同类型的离子源与工艺气体。
配备 14 英寸 D 形腔体 且占地面积极小，Nanoquest Pico 可轻松部署于各类实验室环境。它尤其适合对不适用于传统湿法化学或干法刻蚀工艺的薄膜进行快速刻蚀。
Nanoquest Pico 专为小尺寸晶圆与芯片 的刻蚀而设计，尤其适合科研环境中对薄膜进行快速、精确的刻蚀操作。系统支持 离子束刻蚀 (IBE) 与 反应性离子束刻蚀 (RIBE)，并可配置多种离子源方案，以适配广泛的材料类型与工艺要求。
Nanoquest Pico 是一款面向薄膜应用研发的终极紧凑型离子铣削平台，适用于 数据存储、自旋电子学 以及半导体 等领域。系统可根据具体应用配置多种离子源与工艺气体。凭借 16 英寸 D 形腔体 与极小占地面积，Nanoquest Pico 几乎可以部署在任何实验室中。
Nanoquest Pico 专为 小尺寸晶圆与芯片 刻蚀 而设计，非常适合对那些 不适用于传统化学或常规干法刻蚀工艺的薄膜 进行快速刻蚀处理。