薄膜镀膜服务

凭借在薄膜镀膜与刻蚀设备领域数十年的专业经验,Intlvac 已将多种先进工艺臻于成熟——包括电子束与热蒸发、直流磁控溅射以及等离子体辅助反应溅射。 通过这些技术,我们能够在各种材料和复杂结构上提供高品质的镀膜服务。

金与铂

Intlvac Thin Film 自豪地位列全球黄金镀膜与沉积领域的领先者之一。黄金不仅拥有迷人的外观,更因其卓越的多功能性而备受青睐。二十多年来,我们不断探索多种工艺,并创造出一些独特而高效的黄金沉积方法。

增透膜

Intlvac 提供适用于多种基材和应用的抗反射(AR)镀膜,覆盖可见光(VIS)、近红外(NIR)、短波红外(SWIR)和中波红外(MWIR)波段。我们所有的镀膜均为非放射性。

光学滤光片

可定制的光学滤光片适用于多种应用,例如带通滤光片、长波通 (LWP) 滤光片、短波通 (SWP) 滤光片、中性密度滤光片等。

介质反射镜

高反射(HR)电介质镀膜可应用于多种基片,覆盖可见光(VIS)、近红外(NIR)、短波红外(SWIR)和中波红外(MWIR)波段。

透明导电膜

Intlvac 使用铝锌氧化物(AZO)制备透明导电涂层。我们可根据需要提供不同性能的方案,以在电阻率和透过率之间实现最佳平衡。

类金刚石碳膜

类金刚石碳(DLC)可作为高折射率基底的单层减反射膜。同时,它具备优异的耐磨性与耐化学性,非常适合在恶劣环境中使用的光学元件。

光纤金属化

光纤可在端面、中段或窗口位置进行单层或多层对称金属化涂层处理,用于气密封装的光电器件中。

铟焊凸点键合技术

Intlvac 的 Icarus 系统几何结构确保沉积前沿极其平整均匀,带来卓越的“Lift-off”效果。从按下启动按钮到取出带有 2 微米无飞溅镀层的完成晶圆,全程不到 90 分钟。

定制方案

Intlvac 可根据各种不同的应用需求提供定制化镀膜方案,我们的能力不仅限于光学领域。对于特殊几何形状的基片,我们同样具备专业的镀膜工艺。