Technologielösungen seit 1996
Bei Intlvac sind wir auf Ätz-, Verdampfungs-, Sputter- und PECVD-Prozesstechnologien spezialisiert – sie bilden das Fundament unserer Expertise.
Mit jahrzehntelanger Erfahrung in Dünnschichtbeschichtungs- und Ätztechnologien hat Intlvac Systeme für anspruchsvollste Prozesse perfektioniert – darunter E-Beam- und thermische Verdampfung, DC-Magnetron-Sputtern sowie plasmaunterstütztes reaktives Sputtern.
Finden Sie alle Komponenten für die Mark I- und Mark II-Ionenquellen in unserem Onlineshop – mit lagernden Teilen und Versand am nächsten Tag.
Intlvac ist der exklusive kanadische Distributor für Leybold-Vakuumprodukte und zertifizierten Service.i>
Eine vielseitige Ionenstrahl-Plattform für F&E, ausgelegt zum Ätzen einzelner Wafer bis zu 5″. Ausgestattet mit Hochdurchsatz-Kühlung kann sie Photoresist oder andere Masken durchätzen, um strukturierte Substrate auf nahezu jedem Material zu erzeugen.
Ermöglicht präzises, reproduzierbares Trockenätzen nahezu aller Materialien – und unterstützt Universitäten sowie Forschungseinrichtungen weltweit bei der Weiterentwicklung von MEMS-, optischer, Sensor-, Photonik-, HF/Mikrowellen-, Leistungselektronik-, biokompatibler und Speicherbauelement-Forschung.
Das System ermöglicht eine präzise und automatische Steuerung von Ionenstrahlenergie und Ätzwinkel. Als Produktions-Ätzanlage konzipiert, ist das Nanoquest III/IV in der Lage, Prozesse vom einfachen Inert-Ätzen bis hin zu komplexen reaktiven Verfahren durchzuführen.
Entwickelt zum Ätzen kleiner Wafer und Dies und ideal für das schnelle Ätzen von Dünnschichten, die auf herkömmliche chemische oder Trockenätzverfahren nicht gut ansprechen. Perfekt für Labore, in denen ein kleiner Platzbedarf entscheidend ist.
Das Nanochrome IV IBSD beschichtet Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 250 mm und kleiner. Es kann wahlweise für Load-Lock-Beschickung oder Batch-Beschickung mit Lufteintrag konfiguriert werden. Mit seiner „Sputter-up“-Geometrie bietet es eine erstklassige PVD-Abscheidung mit geringer Partikelbildung für die Dünnschichtherstellung.
Das Nanoquest I IBSD Combo beschichtet und ätzt Substrate bis zu 100 mm. Es sputtert Metalle und Dielektrika bei niedrigem Druck ohne beheizte Kathoden und verfügt über ein Mehrfach-Target-Karussell, eine wassergekühlte rotierende Kippbühne sowie integriertes Ionenstrahl-Ätzen.
Entwickelt für das schnelle, aufeinanderfolgende Entgasen kleiner Bauteile für den weltraumtauglichen Einsatz, indem diese im Hochvakuum gehalten und gleichzeitig durch thermische Strahlung gebacken werden.
Mit einer horizontalen Kammer, zwei Zugangstüren, mehreren Instrumentierungsports und automatisierter Steuerung über Intlvacs Autosys-PLC bietet sie zuverlässige Schwarzkörper-Strahlungsheizung und umfassendes Datenlogging für Weltraumsimulationstests.
Gesteuert über Intlvacs Autosys-PLC bietet es ein ölfreies Hochvakuum, Schwarzkörper-Temperatursimulation ab 150 K sowie Funktionstests im Bereich von –120 °C bis +120 °C – mit vollständigem Datenlogging und LabView-Schnittstelle.
Unser mittelgroßes Thermovakuumsystem, ausgelegt für Tests einer Vielzahl von Komponenten im sauberen, trockengepumpten Hochvakuum (<10⁻⁶ Torr), bietet eine automatisierte Umweltsteuerung über Intlvacs Autosys-PLC mit vollständigem Datenlogging und LabView-Schnittstelle.
Das Intlvac AEGIS Diamond-Like Carbon (DLC) PECVD-System ist eine hochmoderne Beschichtungsanlage, die Ihre Prozesse revolutioniert.
Das Nanochrome™ V ist ein hochmodernes System für plasmaunterstützte Verdampfung und Sputtern. Mit unvergleichlicher Zuverlässigkeit und Präzision...
Das Electra UHV Sputter-System von Intlvac ist eine kompakte, speziell entwickelte Plattform für die Abscheidung von Dünnschichten unter Ultrahochvakuum-Bedingungen (UHV) mit...
Das Intlvac Icarus Indium Solder Bump Deposition System ist für die Hochvolumenproduktion optimiert und liefert schnelle Durchlaufzeiten mit außergewöhnlicher Reproduzierbarkeit.
Das MIDAS Metallisierungssystem ist die führende Lösung der Branche für die Herstellung von ein- oder mehrlagigen, symmetrischen Metallbeschichtungen auf optischen Fasern.
Das Nanochrome™ I von Intlvac Thin Film ist ein leistungsstarkes F&E-/Pilot-Physical Vapor Deposition (PVD)-System, das für maximale Flexibilität, Präzision und Bedienfreundlichkeit entwickelt wurde.
Das Nanochrome™ II ist eine vielseitige Plattform, die speziell für Hochtemperatur-Physical Vapor Deposition (PVD)-Prozesse entwickelt wurde. Das System lässt...
Das Nanochrome™ IV PARMS (Plasma Assisted Reactive Magnetron Sputtering)-System ist das Arbeitspferd der modernen Sputtertechnologie.
Das Intlvac Nanochrome™ IV UV VIS Ion-Assist-Depositionssystem ist die neueste Innovation in der Präzisions-Beschichtungstechnologie.
Das Intlvac Nanochrome™ Pico ist die ultimative, universell einsetzbare Plattform für Prototyping und F&E im Bereich Physical Vapor Deposition (PVD).