Nanochrome I

紧凑多功能的 PVD 平台——专为科研与试生产打造

Intlvac Thin Film 的 Nanochrome™ I 是一款高性能科研/试生产用物理气相沉积 (PVD) 系统,专为灵活性、精度与易用性而设计。该系统占地小、运行成本低,并具备多工艺兼容能力,是在广泛先进材料上开发薄膜工艺的理想解决方案。

Nanochrome I

紧凑多功能的 PVD 平台——专为科研与试生产打造

Intlvac Thin Film 的 Nanochrome™ I 是一款高性能科研/试生产用物理气相沉积 (PVD) 系统,专为灵活性、精度与易用性而设计。该系统占地小、运行成本低,并具备多工艺兼容能力,是在广泛先进材料上开发薄膜工艺的理想解决方案。

主要特性

电子束蒸发 采用 4 或 6 腔电子束蒸发枪,实现精确的材料控制。

可变角度沉积 通过步进电机控制的基片台实现多角度镀膜应用。

直接水冷旋转基片台 确保热管理与薄膜沉积的均匀性。

单次抽真空多工艺操作:

  • 电子束蒸发
  • 磁控溅射
  • 离子束刻蚀

为什么选择 Nanochrome™ I?

 卓越特性:

  • 非常适合科研实验室与试生产环境
  • 可根据材料与工艺需求进行定制化配置
  • 结构紧凑、洁净且易于操作
  • 单个平台实现多种镀膜技术

为先进薄膜应用而优化

无论您的重点在于精密光学、半导体还是介电镀膜,Nanochrome™ I 都能为从金属到复杂介电材料的多种应用实现高质量薄膜沉积。

智能腔体设计

  • 贝壳式真空腔体,便于全面访问内部组件
  • 全不锈钢结构,采用电解抛光表面以实现超洁净运行
  • 三处战略布局的观察窗,支持对蒸发源与基片的实时监控
  • 左侧或右侧仪表机架可选,便于符合实验室人体工学布局

为您的工艺流程量身定制的配置

从多种基片传动选项中进行选择,以满足您特定的沉积需求:

  • 平板行星式托架
  • 翻转式行星托架
  • 穹顶行星结构

石英卤素加热器与全自动快门系统可实现全面的热控制与沉积控制。系统提供多种 PVD 源选项:

  • 热蒸发舟
  • 单/多腔电子束蒸发枪
  • 磁控溅射枪
薄膜生产实力中心

探索最新的 Nanochrome™ I 产品手册

  • 离子束辅助沉积
  • 共蒸发
  • 多层电子束蒸发
  • 热蒸发
  • 平面磁控溅射

Nanochrome™ I 系统 是一款科研/试生产用物理气相沉积 (PVD) 系统。系统支持多种配置,可根据您的特定需求进行定制。凭借小巧的占地面积、低运行成本与易操作特性,Nanochrome™ I 是您科研或试制项目的理想选择。该系统可采用电子束蒸发或磁控溅射技术,在 精密光学镀膜、半导体与介电材料以及超导体 等领域实现高质量薄膜沉积。