Nanochrome™ Pico
研发与原型设计的全能型 PVD 平台
宣传册
Intlvac Nanochrome™ Pico
是一款功能全面的物理气相沉积 (PVD) 研发与原型设计平台。它专为灵活性而设计，支持广泛应用，包括：电子束蒸发用于光刻剥离工艺、光学干涉滤波器、多层阻隔涂层以及 透明导电氧化物 (TCOs)。
凭借紧凑的占地面积和16英寸D形腔体，NC Pico 可轻松集成到任何实验室环境。其模块化设计使用户能够在不同工艺之间快速切换，例如向上溅射或向下溅射。
此外，NC Pico 可无缝集成预抽真空 (Load-Lock) 转移系统，支持从大气到真空，或在多个相连的 Pico 腔体间灵活切换。这一特性在针对特定材料类型（如金属薄膜或氧化物）的专用系统中尤其有价值。
Nanochrome™ Pico 将灵活性、创新性与精确性完美结合，是先进PVD 研发与原型设计的理想选择。