离子束刻蚀
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- 紧凑、低成本的平台
- 主动冷却载台
- 基片旋转与倾斜功能
- 高速真空泵，实现快速抽空
- 多种配置选项，可灵活匹配工艺需求
Nanoquest Pico 是一款面向薄膜应用研发的终极紧凑型离子铣削平台，适用于 数据存储、自旋电子学 以及半导体 等领域。系统可根据具体应用配置多种离子源与工艺气体。凭借 16 英寸 D 形腔体 与极小占地面积，Nanoquest Pico 几乎可以部署在任何实验室中。
Nanoquest Pico 专为 小尺寸晶圆与芯片 刻蚀 而设计，非常适合对那些 不适用于传统化学或常规干法刻蚀工艺的薄膜 进行快速刻蚀处理。