自 1996 年以来一直提供技术解决方案
在 Intlvac，我们专注于刻蚀、蒸发、溅射以及等离子体增强化学气相沉积 (PECVD) 工艺技术，这些领域构成了我们的核心专长。
凭借在薄膜镀膜与刻蚀设备领域数十年的专业经验，Intlvac 已将多种先进工艺臻于成熟——包括电子束与热蒸发、直流磁控溅射以及等离子体辅助反应溅射。
在我们的在线商城中，您可以找到 Mark I 和 Mark II 离子源的所有组件。现货供应，次日发货。
Intlvac 是 Leybold 真空产品及认证服务在加拿大的独家分销商
Nanoquest I IBSD Combo 专为直径 100 mm 及以下的基片设计，是一款将高端 PVD 薄膜沉积与全功能离子束刻蚀相结合的紧凑型设备，为薄膜制造提供卓越的工艺能力。
该技术能够在低压下对金属和介电材料进行溅射，无需带电阴极。系统配备多靶旋转盘、水冷基片台，支持旋转与角度调节，并集成离子束刻蚀功能。
在提供业界公认的高质量 IBSD 涂层的同时，同一台设备还能实现薄膜平坦化和图案化晶圆的精密刻蚀 —— 真正实现一机多用。