系统规格
腔体内外表面均经过机械加工与电解抛光处理，最大限度地减少表面积，以缩短抽真空时间并降低水汽背景。系统配备三个 Pyrex 观察窗，其中两个带有保护玻璃盖片。镀膜材料与观察窗隔离，而正对电子束蒸发枪的观察窗配备潜望镜与偏振衰减组件，可在沉积过程中实现实时观察。
腔体顶部设有多种引出端口，包括一套 2.0 英寸中空轴铁磁流体旋转引出装置，并集成光学窗口。腔体侧面与底部还预留额外端口，为未来应用提供灵活性。
该系统专为实现卓越性能而设计，非常适用于 长程反应溅射、电子束蒸发 与 热蒸发 等先进工艺，可在高精度与高可靠性的条件下制备高质量薄膜。