Nanochrome™ V: 先进溅射系统

精密镀膜技术

Nanochrome™ V 是一款最先进的系统,专为等离子体辅助蒸发与溅射工艺而设计。凭借无与伦比的可靠性与精度,该系统能够为多种应用持续沉积高质量薄膜,是生产与研发环境中的理想解决方案。

Nanochrome™ V: 先进溅射系统

精密镀膜技术

Nanochrome™ V 是一款最先进的系统,专为等离子体辅助蒸发与溅射工艺而设计。凭借无与伦比的可靠性与精度,该系统能够为多种应用持续沉积高质量薄膜,是生产与研发环境中的理想解决方案。

什么是溅射?

溅射是一种通过高能等离子体或气体粒子(通常称为工作气体)轰击靶材表面,使其表面粒子被溅射出来的过程。该技术被广泛用于在基片上沉积薄膜,具有以下优势:

  • 物理 / 化学防护
  • 光学滤波能力
  • 改进的电学 / 热学性能
  • 可在复杂几何结构上实现镀膜

为什么选择 Nanochrome™ V?

 卓越特性:

  • 手动或自动基片装载锁
  • 通过 Intlvac 软件实现自动薄膜沉积
  • 触控界面,操作简便
  • 稳定、可靠且高度可重复的工艺流程
  • 可升级设计以满足未来需求

 性能亮点:

  • 最先进的干式真空泵系统
  • 支持最大 500 mm 外径基片,承载能力高达 20 kg
  • 金属与介电材料沉积(RF、DC、脉冲 DC)
  • 氧化物生长速率可达 5 Å/s
  • 自适应光学控制,波长范围 400–1650 nm

性能优势

  • 更高的堆积密度:相比传统蒸发技术,获得更出色的膜层致密性与质量。
  • 反应性金属靶材应用:轻松制备氧化物和氮化物薄膜。
  • 更快的循环时间:在不牺牲质量的前提下显著节省工艺时间。

可靠与易用的设计

  • 设备寿命长: 即使在苛刻应用中也能保持长期稳定运行。
  • 按需支持: Intlvac 提供行业领先的客户服务。

  • 操作简便: 易于学习的软件界面,同时具备灵活的手动操作模式。
  • 全面的工艺控制: 从工艺记录到终点监控,确保过程可视化与精确可

技术规格

沉积腔体:

  • 不锈钢贝壳式设计,便于维护与操作
  • 直径 48 英寸 × 高度 40 英寸,低放气率结构

基片托架:

  • 可旋转 500 mm 外径圆盘
  • 支持最大 20 kg 的样品负载

气体控制:

  • 支持氩气 (Ar)、氧气 (O₂) 和氮气 (N₂)
  • 气路采用气动阀门控制

加热系统:

  • 红外辐射加热器,可将基片加热至最高 200°C

真空抽气系统:

  • 可在 45 分钟内实现高真空,真空度达 5E-6 Torr
  • 配备两台宽量程磁悬浮泵及 Leybold 干式真空泵

Intlvac 离子源

我们自主设计的无栅端霍尔 离子源专为基片预清洗与辅助沉积而开发。其具备角度与线性可调特性,确保工艺精度与最佳性能表现。

Intlvac 软件:让工艺自动化更智能

Nanochrome™ V 的软件可自动执行关键功能,包括抽真空、气体流量、离子源及溅射控制,使操作:

  • 简单易用
  • 节省时间与成本
  • 高度稳定可靠

软件特性:

  • 简便的工艺编程
  • 多级访问权限,操作更灵活
  • 手动模式可实现高级控制

Intlvac 支持

我们以提供无与伦比的客户支持为荣,确保您的成功:

  • 工艺编程支持
  • 远程连接协助
  • 现场培训
  • 全天候用户协助

薄膜的应用

由 Nanochrome™ V 制备的薄膜可用于:

  • 物理与化学防护层
  • 光学滤波
  • 提升电学或热学性能
  • 复杂几何结构表面的镀膜

薄膜的应用

由 Nanochrome™ V 制备的薄膜可用于:

  • 物理与化学防护层
  • 光学滤波
  • 提升电学或热学性能
  • 复杂几何结构表面的镀膜

薄膜的应用

由 Nanochrome™ V 制备的薄膜可用于:

  • 物理与化学防护层
  • 光学滤波
  • 提升电学或热学性能
  • 复杂几何结构表面的镀膜

准备好了解更多了吗?

立即联系 Intlvac,亲身体验为何 Nanochrome™ V 是终极溅射与薄膜沉积系统。无论您从事科研还是生产,该系统都是您创新路上的理想伙伴。

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