自 1996 年以来一直提供技术解决方案
在 Intlvac,我们专注于刻蚀、蒸发、溅射以及等离子体增强化学气相沉积 (PECVD) 工艺技术,这些领域构成了我们的核心专长。
凭借在薄膜镀膜与刻蚀设备领域数十年的专业经验,Intlvac 已将多种先进工艺臻于成熟——包括电子束与热蒸发、直流磁控溅射以及等离子体辅助反应溅射。
在我们的在线商城中,您可以找到 Mark I 和 Mark II 离子源的所有组件。现货供应,次日发货。
Intlvac 是 Leybold 真空产品及认证服务在加拿大的独家分销商
Intlvac AEGIS 类金刚石碳(DLC)PECVD 系统是一款先进的涂层设备,旨在彻底革新您的涂层工艺。该系统采用等离子体激活的低温化学气相沉积(PECVD)技术,具备高效性、一致性和卓越的耐久性。
类金刚石碳(DLC)是一类兼具金刚石关键特性的材料,包括极高硬度、高杨氏模量以及优异的耐久性。这些特性来源于其碳结构中丰富的 sp³ 键。与天然金刚石不同,DLC 涂层可根据需求定制,以满足特定性能要求,因此广泛适用于各种高端应用。
DLC 兼具机械强度与适应性,是先进涂层技术的一项突破。
DLC 涂层在提升汽车零部件性能与寿命方面至关重要。它兼具高硬度、低摩擦和耐磨损特性。Intlvac DLC 涂层能有效降低运动部件间的摩擦,延长发动机部件、传动系统和齿轮的使用寿命,同时增强整体性能。由于其高硬度,DLC 涂层还能形成强大屏障,抵御腐蚀与环境损伤。
在硅、锗、蓝宝石、光学玻璃、金属、塑料及 II-VI 化合物等多种基材上形成均匀致密的涂层,厚度可达数微米。有效减少材料浪费、缩短真空处理时间并降低成本。
避免微观针孔对薄膜质量与寿命的影响,即使在接近 1 纳米的超薄厚度下也能确保强韧保护。
DLC 涂层表面具有疏水特性,有效防止水分子附着,降低水汽损伤和维护需求。
与天然金刚石性能相近:95% 原子密度、75% 硬度、66% 杨氏模量,显著提升耐磨与耐久性能。
通过反射率、透射率、耐磨性及盐溶解度等严格测试,确保在严苛环境中依旧保持可靠性能。