UV VIS 光学滤光片生产系统
探索最新的 Nanochrome™ IV UV VIS 产品手册
- 卓越的工艺可重复性
- 2% 的基线膜厚均匀性
- 配备双轴旋转的五个 12 英寸行星托架
- 人性化设计
Nanochrome™ IV UV VIS 离子辅助沉积系统 可通过 电子束蒸发 结合 离子辅助 并在 光学监控 下实现实时优化或标准控制操作，用于制备复杂光学滤光片。
其 宽带光学监测系统 可在反射或透射模式下实现自动化工艺控制。
先进的沉积供给组件 提供对工艺运行的精确控制，并实现高达 275°C 的温度管理，确保无与伦比的稳定性与性能。