自 1996 年以来一直提供技术解决方案
在 Intlvac,我们专注于刻蚀、蒸发、溅射以及等离子体增强化学气相沉积 (PECVD) 工艺技术,这些领域构成了我们的核心专长。
凭借在薄膜镀膜与刻蚀设备领域数十年的专业经验,Intlvac 已将多种先进工艺臻于成熟——包括电子束与热蒸发、直流磁控溅射以及等离子体辅助反应溅射。
在我们的在线商城中,您可以找到 Mark I 和 Mark II 离子源的所有组件。现货供应,次日发货。
Intlvac 是 Leybold 真空产品及认证服务在加拿大的独家分销商
Intlvac Icarus 铟焊凸点沉积系统 专为高产量生产而优化,能够在保持卓越重复性的同时实现快速处理。从按下“启动”按钮到取出完全加工完成的 200 mm 晶圆,全程耗时不足 90 分钟,使 Icarus 成为应对高要求半导体制造环境的顶级解决方案。
Intlvac 开发了先进的铟超纯化技术,彻底消除了沉积过程中常见的“溅射”问题。该技术可获得高纯度、均匀的镀膜质量,这对于微电子应用至关重要。
与电镀及其他方法相比,物理气相沉积 (PVD) 具有以下优势:
无论您是在扩大产能,还是在优化器件可靠性,Icarus 铟沉积系统都能提供您所需的性能、灵活性与技术支持。 立即联系我们,了解 Icarus 如何助力您下一代微电子器件的制造。
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Intlvac 铟焊凸点沉积系统 专为高通量生产而设计,具备低维护需求与快速处理能力。凭借 Intlvac 专有技术及 30 余年系统制造与镀膜服务经验,该系统在可靠性与性能方面表现卓越。非常适用于高产量市场,可在 120 分钟内完成一片 200 mm 晶圆的全流程加工。
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